| 产品技术指标 | ||||
| 序号 | 气量 (m?/h) | 纯度 (%) | 露点 (℃) | 压力 (Mpa) |
| ① | 5~5000 | 95~99.999 | -40~-65 | 0.6 |
| 产品技术指标 | ||||
| 序号 | 气量 (m?/h) | 纯度 (%) | 露点 (℃) | 压力 (Mpa) |
| ② | 5~5000 | 95~99.9 | -40 | 1.0 |
| 产品技术指标 | ||||||
| 序号 | 气量 (m?/h) | 纯度 (%) | 露点 (℃) | 压力 (Mpa) | 过量氢 (ppm) | 再生耗气 (%) |
| ③ | 20~5000 | 99.9995 | -70 | 0.5 | ≤2000 | ≤1 |
| 产品技术指标 | ||||||
| 序号 | 气量 (m?/h) | 纯度 (%) | 露点 (℃) | 压力 (Mpa) | 氢含量 (ppm) | 再生耗气 (%) |
| ④ | 20~5000 | 99.9995 | -70 | 0.5 | 0 | 10 |
| 产品技术指标 | ||||
| 序号 | 气量 (m?/h) | 纯度 (%) | 露点 (℃) | 压力 (Mpa) |
| ⑤ | 5~5000 | 99.999 | -70 | 0.8 |